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微納器件制造持續(xù)向極小尺度發(fā)展，傳統光刻手段難以實現復雜三維結構成型，制約微加工領域的研發(fā)進程。雙光子激光3D光刻機依托雙光子吸收效應，實現樹脂材料局部光聚合，用于高精度三維微結構制備。依托各精密組件協同調控光路與位移，雙光子激光3D光刻機能夠實現納米級精細加工，支撐微機電、生物材料等前沿方向的樣品試制。1、飛秒激光發(fā)射單元該單元是設備的光源核心，輸出超短脈沖激光，滿足雙光子激發(fā)所需的高光強條件。...